Endpoint PC Module Overhual
主要運用機台

APPLIED MATERIALS CENTURA DPS II
製 造 商: AMAT / APPLIED MATERIALS
機 型: P5000 MxP Poly
運 用: ETCHERS / ASHERS
晶圓尺寸: 12 " / 12"System / (4) Chambers

APPLIED MATERIALS 5200 SuperE
製 造 商: AMAT / APPLIED MATERIALS
機 型: 5200 SUPER-E
運 用: ETCHERS / ASHERS
晶圓尺寸: 8 " / 8"System / TYPE:SNNF /
(4) Chambers

APPLIED MATERIALS P500 MxP
製 造 商: AMAT / APPLIED MATERIALS
機 型: P5000 MxP Poly
運 用: ETCHERS
晶圓尺寸: 6 " / 6"System /
(2) Chambers